了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如除塵器等。
工藝過程中產生的全部氣體量。
鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能⑺真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的價格、運轉及維修費用。
